沉铜工艺之沉铜前处理：

消除毛刺：沉铜基前基板经过了钻孔工序，虽然这一工序易产生毛刺，但这是导致不良孔金属化的最大隐患。一定要用去毛刺的工艺方法来解决。一般采用机械方式，使孔边、内孔壁无倒刺或堵塞现象发生。

二、清除油污：

(1)油污的来源：钻头因手接触而沾油，取基底时留下手印等。

2)油污：包括动植物油脂、矿物质等。前一种是皂化油，后一种是非皂化油。

(3)油脂的性质：动植物油脂属于皂化油类中的高级脂肪酸，它与碱反应生成脂肪酸盐和甘油，后者可溶于水；矿物油脂的化学结构主要是石腊烃、烯属烃、环烷属烃和氯化物的混合物，不溶于水，也不与碱反应。

(4)除油处理方法的选择依据：根据油品的性质，根据油品沾污量选择。

方法：采用有机溶剂、化学、电化学碱法除油。

作用原理：□皂化油与碱液发生化学反应，生成脂肪酸盐和甘油，后者易溶于水。反响如下：

310NAOH3C17H35COONa+C2H5(OH)2(C17H35COO)。

非皂化油类：主要靠表面活性剂如OP乳化剂、十二烷基磺酸钠、硅酸钠等。在这些物质结构中，有两种群，一种是憎水群，另一种是亲水群。先由乳化剂吸附在油与水的分界面，使油在敌敌畏表面与敌畏表面产生亲和作用，然后由敌畏表面向去油液流动，使水是极强的极性分子，使油与敌畏表面之间的引力减小，借者去油液的对流搅拌，油污离开敌畏表面，达到敌畏表面去油的最终目的。

粗加工：

粗化目的：主保温层与基体之间具有较好的粘结强度。

粗化原理：使基体表面形成微凹坑，以增加其表面接触面积，并与铜沉层形成机械钮扣结合，达到高结合强度。

三、粗化方法与选择：基本有以下方法，主要起到酸蚀和强氧化作用。

过硫酸铵过硫酸钠一氯化铜溶液一过氧化氢/硫酸。

铜沉法之激活处理：

激活目的：主要是形成“引发中心”，使铜层沉积均匀一致。

活化的基本原理：在镀上的非金属表面上沉积一个均匀的活化中心质点。

3.活动的方法和备选办法：

循序渐进法：从生产实践来看，胶体钯(一步活化法)具有良好的活化性能，使得获得的沉积层结合力好，使用时间长，但制备条件严格.活化液呈淡咖啡色。

胶体钯有三种类型：酸性胶体钯，盐基钯，碱性胶体钯。

制备胶体钯：将1克二氯化钯在100毫升盐酸和200毫升水溶液中溶解，待完全溶解后，将烧杯放置在恒温水浴中30℃±1℃，在搅拌的条件下，加入2.54克二氯化锡(SnCl2·2H2O)反应12分钟，然后将两溶液(A、B)混合(B)，以二氯化锡75克/升，银酸钠NaSnO447H2O7克/升，盐酸200毫升/升)，在40~50℃的恒温水浴条件下，持续3小时(加盖)。该工艺方法的原理是：老化温度决定了钯粒子的催化性能。通过实际应用得出最佳工艺条件为60℃±5℃，4—6小时保温不仅可提高钯粒的催化活性，而且可延长钯粒的使用寿命。

激活机制：“胶态钯”的胶团结构为双电层，[pd0]m为胶核。激活后，Sn2+首先在孔隙中吸附，C1-1又吸附二价锡离子，形成〖nSn2+·2(n-x)Cl+〗的吸附层，形成胶体群。这种胶团在水溶液中具有负电性，与水溶液碰撞而不会聚沉着，其吸附层外的2xCl-1为扩散层。

活化液的保养：由于活化液的配制比较复杂，成本较高，使用时应注意以下几点。

为了避免水进入活化液，在活化前先在下列溶液处理理2-3分钟：SnCl2·2H2O40克/升HCl100毫升/升预浸液，然后再进行活化处理，目的是滤干水。

摄取后的衬底应尽可能少地带入溶液，同时在回收槽重复清洗，以补充活化液消耗或用于新配溶液。

使用一段时间后，当活化液的实际容量达到10~20克/升时，当活化液出现分层现象时，分层现象即可消失。

在15℃以下，活化效果较差，应加温处理。使用热水套槽加热。

脱胶处理：脱去多余残余的活化液，以防带入铜沉淀池，造成溶液分解。诺赫50克/升的处理时间为1.5分钟。

铜沉法中的化学沉铜法：适用于普通铜沉液。

甲：酒石酸钾钠100克。

25克硫酸铜。

钠35克。

蒸馏水一升

乙醇：甲醛(36~40%)8~15毫升。

A/B比例：100:8—15。

加工条件：温度20~25℃。

二十分钟。